X射线荧光(XRF)是一种经常用来量化 在用油 中单个化学元素成分的技术。通常将一个油液样品(1 - 2毫升)放在一个小样品杯里进行x光分析。与原子发射技术相似，与异常破坏模式相关联的大颗粒不适合用杯子去分析，因为XRF射线的波束聚焦点在统计上并不能有代表性的得出仅仅在1-2ml油中的大颗粒的分布，不过这些元素的测试结果仍然与RDE和ICP方法得出的结果密切相关。然而，整体的元素信号要低得多。另外，这是基于小的XRF光束点，而不是整体的油量。在此技术下，亚微米碳烟炱颗粒也会对重型柴油发动机油样品的测试造成干扰，这些类型的样品需要某种形式的基线校正方法来补偿烟炱带来的干扰。

通过将光束集中到颗粒本身上，这样可以更好地测量油液中大颗粒时的敏感度。当你用一段胶带去检查磁性芯片探测器上的粒子时你肯定会发现这个现象。英国皇家空军早期故障检测中心(EFDCs)广泛应用了这一技术。